X射線檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體封裝中具有廣泛的應(yīng)用,主要用于檢測(cè)封裝后芯片內(nèi)部的結(jié)構(gòu)和連接情況,以確保芯片質(zhì)量和可靠性。
半導(dǎo)體封裝是將芯片封裝在保護(hù)性殼體中,以保護(hù)芯片不受外部環(huán)境的影響,同時(shí)提高芯片的可靠性和穩(wěn)定性。但是,在封裝過程中可能會(huì)出現(xiàn)一些問題,例如焊點(diǎn)短路、焊點(diǎn)開路、晶圓翹曲、芯片翹曲等,這些問題都可能導(dǎo)致芯片失效或性能下降。
X射線檢測(cè)設(shè)備可以通過X射線透射技術(shù),檢測(cè)芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)和連接情況,以便于發(fā)現(xiàn)這些問題。具體應(yīng)用包括:
焊點(diǎn)檢測(cè):通過X-Ray檢測(cè)設(shè)備可以檢測(cè)焊點(diǎn)的質(zhì)量,例如焊點(diǎn)是否短路、開路等情況。這對(duì)于確保芯片的可靠性和穩(wěn)定性非常重要。
電極連接檢測(cè):X-Ray檢測(cè)設(shè)備可以檢測(cè)電極與芯片之間的連接情況,例如是否存在連接不良、線路斷開等問題。
極性檢測(cè):X射線檢測(cè)設(shè)備可以檢測(cè)芯片中各部分的極性,以便于確認(rèn)芯片的正確安裝位置。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)檢測(cè):通過X射線檢測(cè)設(shè)備可以檢測(cè)芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu),例如芯片的多層結(jié)構(gòu)、電路布局等,以便于確認(rèn)芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)是否符合要求。
正業(yè)科技生產(chǎn)的在線全自動(dòng)半導(dǎo)體X射線檢測(cè)設(shè)備XG5500主要用于檢測(cè)芯片內(nèi)部是否有缺陷,是否符合生產(chǎn)要求。目前我司的XG5500主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的分立元件進(jìn)行在線全自動(dòng)檢測(cè),可自適應(yīng)7英寸,11英寸,13英寸的料盤。該設(shè)備通過Xray發(fā)生器發(fā)出X射線,穿透芯片內(nèi)部,由平板探測(cè)器接收X射線進(jìn)行成像,通過圖像算法對(duì)圖像進(jìn)行分析、判斷,確定良品與不良品,并通過復(fù)盤功能,確定芯片在料盤中的序號(hào),以便后端將不良芯片挑出。以下為檢測(cè)樣品,可以整盤盤料一起檢測(cè)。
總之,X射線檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體封裝中的應(yīng)用非常廣泛,對(duì)于確保芯片的質(zhì)量和可靠性具有重要的作用。